[发明专利]热板表面的检测方法在审
| 申请号： | 201810231102.2 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110132973A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李国安 | 申请（专利权）人： | 力成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热板表面的检测方法，用以检测待测热板表面是否存有异物，检测方法包含以下步骤，对应待测热板以选择设定标准热板数据，再根据标准热板数据及待测热板的尺寸设定检测范围，接着利用影像捕获设备在检测范围内取得待测热板的至少一表面影像数据，最后再比对表面影像数据与标准热板数据，当检测出待测热板表面存有异物时，即对待测热板进行异物排除，并重新取得表面影像数据。藉此，本发明可以避免热板上有异物存在，故可预防后续制程因异物沾附热板所造成的芯片破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 热板 热板表面 检测 异物 表面影像 影像捕获设备 尺寸设定 选择设定 异物排除 比对 沾附 制程 破裂 芯片 预防 | ||
【主权项】：
1.一种热板表面的检测方法，其特征在于，包含下列步骤：对应一待测热板选择设定一标准热板数据；根据该标准热板数据及该待测热板的尺寸设定一检测范围；利用一影像捕获设备于该检测范围内取得该待测热板的至少一表面影像数据；以及比对该至少一表面影像数据与该标准热板数据，当检测出该待测热板表面具有异物时，对该待测热板进行异物排除，并回到上一步骤。
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