[发明专利]一种气体隔离装置及隔离方法

摘要

本发明公开了一种气体隔离装置及隔离方法，用于抑制低清洁腔室中的污染物向高清洁腔室的扩散。所述气体隔离装置是一个两端开口的管道结构，其宽口端与高清洁腔室连接，窄口端与低清洁腔室连接。所述气体隔离装置一面侧壁上开有两层充气口，用于向隔离结构内充气；对面侧壁上开有一层抽气口，用于抽走隔离结构内的部分气体。本发明通过气流对污染物扩散的双重抑制作用以及气流对污染物的裹挟排除作用，更好的抑制了污染物的扩散。

主权项

1.一种气体隔离装置，用于抑制低清洁腔室中的污染物向高清洁腔室的扩散，其特征在于：包括两端开口的管道结构，管道结构的一面侧壁上开有两层充气口，对面侧壁上开有一层抽气口；所述管道结构的形状取决于内部所要通过的介质形状：对于圆锥形光束，所述管道结构采用圆锥形结构；对于矩形且连续收缩的光束，所述管道结构采用矩形横截面、梯形纵截面的结构；所述抽气口处于所述两层充气口的中间位置。