[发明专利]用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置在审
| 申请号： | 201810231943.3 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108489987A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 王永红;孙方圆;闫佩正;钟诗民;陈维杰;赵琪涵 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;余罡 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学检测技术领域，公开了一种用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置，其包括激光器、扩束镜、散斑产生装置、剪切干涉装置和电荷藕合器件图像传感器，所述激光器出射的激光经所述扩束镜扩束后照射到所述散斑产生装置，经所述散斑产生装置形成散斑后入射到被测物体的光滑表面，携带所述被测物体的表面信息的散斑经过所述剪切干涉装置照射到所述电荷藕合器件图像传感器靶面上，以在所述电荷藕合器件图像传感器靶面上形成散斑干涉图，其中，所述散斑产生装置包括若干块毛玻璃，所述毛玻璃的粗糙面面向所述扩束镜。该检测装置不改变被测物体表面性质、激光利用率高，且对激光器的要求低。 | ||
| 搜索关键词： | 散斑 产生装置 电荷藕合器件 图像传感器 光滑表面 检测装置 激光器 扩束镜 物体内部缺陷 被测物体 剪切干涉 毛玻璃 照射 被测物体表面 光学检测技术 激光利用率 表面信息 散斑干涉 粗糙面 出射 扩束 入射 激光 携带 | ||
【主权项】：
1.一种用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置，其特征在于，包括激光器、扩束镜、散斑产生装置、剪切干涉装置和电荷藕合器件图像传感器，所述激光器出射的激光经所述扩束镜扩束后照射到所述散斑产生装置，经所述散斑产生装置形成散斑后入射到被测物体的光滑表面，携带所述被测物体表面信息的散斑经过所述剪切干涉装置照射到所述电荷藕合器件图像传感器靶面上，以在所述电荷藕合器件图像传感器靶面上形成散斑干涉图，其中，所述散斑产生装置包括若干块毛玻璃，所述毛玻璃的粗糙面面向所述扩束镜。
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