[发明专利]压电元件、压电器件、超声波探针和电子设备在审
申请号: | 201810233500.8 | 申请日: | 2018-03-21 |
公开(公告)号: | CN108666413A | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 大桥幸司;上条隆弘;今井克浩;山冈卓实;小岛力 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张永明;玉昌峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种压电元件、压电器件、超声波探针和电子设备。在压电元件中第一电极层、压电体层和第二电极层依次层叠,并具备:第三电极层,层叠在上述第二电极层的一部分并且含有第三金属;和绝缘层,至少覆盖上述压电体层的未设有上述第二电极层的部分并且具有使上述第二电极层的一部分露出的开口部,在上述第二电极层中含有第一金属的第一层和含有第二金属的第二层依次层叠,在上述开口部露出上述第二层,上述第二金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差小于上述第一金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差。 | ||
搜索关键词: | 第二电极 金属 压电元件 氧化还原电位 超声波探针 电子设备 压电器件 压电体层 依次层叠 开口部 绝缘层 第三电极 第一电极 第一层 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种压电元件,其特征在于,在所述压电元件中,第一电极层、压电体层和第二电极层依次层叠,所述压电元件具备:含有第三金属的第三电极层,层叠在所述第二电极层的一部分上;以及绝缘层,至少覆盖所述压电体层的未设有所述第二电极层的部分,并具有使所述第二电极层的一部分露出的开口部,在所述第二电极层中,含有第一金属的第一层和含有第二金属的第二层依次层叠,所述第二层在所述开口部露出,所述第二金属和所述第三金属之间的标准氧化还原电位之差小于所述第一金属和所述第三金属之间的标准氧化还原电位之差。
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