[发明专利]镀覆装置以及镀覆槽结构的确定方法有效
| 申请号： | 201810236036.8 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN108624940B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 社本光弘;下山正 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种容易获得与方形基板对应的适当的极间距离的镀覆装置以及镀覆槽结构的确定方法。提供一种用于使用保持方形基板的基板保持架对所述方形基板进行镀覆的镀覆装置。该镀覆装置具有：镀覆槽，所述镀覆槽构成为收纳保持有所述方形基板的所述基板保持架；以及阳极，所述阳极与所述基板保持架相对地配置在所述镀覆槽的内部。所述基板保持架具有电气触点，所述电气触点构成为向所述方形基板的相对的两边供电。在所述方形基板的基板中心与所述电气触点之间的距离为L1，所述方形基板与所述阳极之间的距离为D1的情况下，所述方形基板以及所述阳极以满足0.59×L1‑43.5mm≤D1≤0.58×L1‑19.8mm的关系的方式，配置在所述镀覆槽内。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 装置 以及 结构 确定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镀覆装置，所述镀覆装置用于使用保持方形基板的基板保持架对所述方形基板进行镀覆，其特征在于，具有：镀覆槽，所述镀覆槽构成为收纳保持有所述方形基板的所述基板保持架；以及阳极，所述阳极与所述基板保持架相对地配置在所述镀覆槽的内部，所述基板保持架具有电气触点，所述电气触点构成为向所述方形基板的相对的两边供电，在所述方形基板的基板中心与所述电气触点之间的距离为L1，所述方形基板与所述阳极之间的距离为D1的情况下，所述方形基板以及所述阳极以满足0.59×L1‑43.5mm≤D1≤0.58×L1‑19.8mm的关系的方式，配置在所述镀覆槽内。
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