[发明专利]膜厚测定方法和膜厚测定装置有效
| 申请号： | 201810236094.0 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN108627105B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 三浦真德;高柳顺 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张轶楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供膜厚测定方法和膜厚测定装置。一边输送片材、一边高精度地对形成于片材的膜的膜厚进行测定。膜厚测定装置(10)具备移位传感器(13)和膜厚运算装置(14)。移位传感器(13)在太赫兹扫描装置(12)向输送路径照射太赫兹波的一侧的相反一侧对片材(2)在厚度方向上的移位进行检测。膜厚运算装置(14)的第1处理部(14a)基于由移位传感器(13)得到的检测信号，得到沿输送路径输送的片材(2)在厚度方向上的移位速度。第2处理部(14b)基于移位速度来修正由太赫兹扫描装置(12)得到的扫描波形。第3处理部(14c)基于由第2处理部(14b)修正后的扫描波形中出现的太赫兹波的强度的峰值，算出形成于片材(2)的膜(2b)的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚测定方法，包括：沿着预先确定的输送路径输送形成了成为测定对象的膜的片材的步骤；对沿着所述输送路径输送的片材沿厚度方向照射太赫兹波的步骤；接收在所述片材反射后的太赫兹波，随时间变化地记录所接收到的太赫兹波的强度而得到扫描波形的步骤；配合照射所述太赫兹波的步骤，对沿着所述输送路径输送的所述片材在厚度方向上的移位速度进行测定的步骤；基于所述片材在厚度方向上的移位速度，对所述扫描波形进行修正的步骤；以及基于在修正后的扫描波形中出现的所述太赫兹波的强度的峰值，算出形成于所述片材的膜的厚度的步骤。
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