[发明专利]一种图案可控的激光剥离金属薄膜的方法在审
| 申请号： | 201810237778.2 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108342700A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 洪瑞金;邓操;荆铭;孙文峰;陶春先;张大伟 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/18;C23C14/58;B23K26/362 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图案可控的激光剥离金属薄膜的方法，包括如下步骤：步骤S1，依次采用丙酮、酒精、去离子水对玻璃基片进行超声波清洗；步骤S2，在清洗后的玻璃基片上沉积银膜层；步骤S3，利用激光器按照指定图形对银膜层进行刻蚀，使得刻蚀后的银膜层在玻璃基片上发生剥离形成银模板；步骤S4，在银模板上沉积金属或氧化物，步骤S5，并将其放入硝酸溶液中进行浸泡清洗，而后用无纺布擦拭留下所需位置的金属或氧化物的薄膜，其中，步骤S3中的激光器为Nd：YAG激光器，该激光器发出的激光的波长为1064nm，功率为3‑7W，脉宽为200ns，激光脉冲频率为45KHz，束斑大小为0.01mm。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基片 激光器 银膜层 激光剥离 金属薄膜 可控的 氧化物 刻蚀 激光脉冲频率 图案 超声波清洗 沉积金属 浸泡清洗 去离子水 硝酸溶液 无纺布 波长 丙酮 放入 脉宽 束斑 沉积 薄膜 擦拭 酒精 清洗 剥离 激光 金属 | ||
【主权项】：
1.一种图案可控的激光剥离金属薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1，依次采用丙酮、酒精、去离子水对玻璃基片进行超声波清洗；步骤S2，在清洗后的所述玻璃基片上沉积银膜层；步骤S3，利用激光器按照指定图形对所述银膜层进行刻蚀，使得刻蚀后的所述银膜层在所述玻璃基片上发生剥离形成银模板；步骤S4，在所述银模板上沉积金属或氧化物；步骤S5，将沉积金属或氧化物后的所述银模板放入硝酸溶液中进行浸泡清洗，而后用无纺布擦拭留下所需位置的所述金属或所述氧化物的薄膜，其中，所述步骤S3中的激光器为Nd：YAG激光器，该激光器发出的激光的波长为1064nm，功率为3‑7W，脉宽为200ns，激光脉冲频率为45KHz，束斑大小为0.01mm。
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