[发明专利]正型感光性聚硅氧烷组合物有效
| 申请号： | 201810239512.1 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108693710B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 吴明儒;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吴红林;姚亮 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明有关正型感光性聚硅氧烷组合物，用于形成TFT基板的平坦化膜或层间绝缘膜，或光波导路芯材或包覆材的保护膜，其具有耐化学性佳的特性。该正型感光性硅氧烷组合物包含聚硅氧烷(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、溶剂(C)及硅烷化合物(D)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 聚硅氧烷 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性聚硅氧烷组合物，其包含：聚硅氧烷(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；溶剂(C)；及硅烷化合物(D)；其中，该硅烷化合物(D)具式(D‑1)所示的结构：![]()
式(D‑1)中：R1表示未经取代或经取代的碳数1至10的烷基，或未经取代或经取代的碳数6至10的芳基；R2各独立地表示未经取代或经取代的碳数1至20的烷基、未经取代或经取代的碳数6至10的芳基、未经取代或经取代的碳数7至10的芳烷基、未经取代或经取代的碳数2至10的烯基，或未经取代或经取代的碳数1至20的有机氧基；R3表示未经取代或经取代的碳数1至10的烷基，或未经取代或经取代的碳数6至10的芳基；n为1至3的整数；且m为1至3的整数。
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