[发明专利]一种应用超声表面波无损检测薄膜厚度的方法有效
| 申请号： | 201810239868.5 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108426545B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 肖夏;孔涛 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种应用超声表面波无损检测薄膜厚度的方法，包括：根据样片薄膜与基底的材料参数，计算其理论频散曲线；利用激光激发超声表面波系统对样片进行检测，在距离激发源一定距离的两个位置处通过压电探测器探测表面波信号；计算出其幅度特性和相位特性，求解出声表面波的相速度，获得表面波的实验频散曲线；进行一次多项式拟合；选择理论频散曲线上的一个数据点，将该数据点的波速值v带入到拟合曲线计算其对应的频率值；通过比较理论频散曲线中的频率膜厚积与拟合曲线中的频率即可求出样片的厚度。本发明可以提高表面波波速测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 超声 表面波 无损 检测 薄膜 厚度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种应用超声表面波无损检测薄膜厚度的方法，包括下列步骤：(1)根据样片薄膜与基底的材料参数，计算其理论频散曲线v(fh)；(2)利用激光激发超声表面波系统对样片进行检测，在距离激发源一定距离的两个位置处通过压电探测器探测表面波信号；(3)对探测到的表面波信号进行傅里叶快速变换，计算出其幅度特性和相位特性，求解出声表面波的相速度，获得表面波的实验频散曲线v(f)；(4)该实验频散曲线v(f)进行一次多项式拟合得到拟合曲线；(5)选择理论频散曲线v(fh)上的一个数据点(fhtheoty,v)，将该数据点的波速值v带入到步骤(4)得到的拟合曲线计算其对应的频率值ffit；(6)通过比较理论频散曲线v(fh)中的频率膜厚积fhtheoty与拟合曲线中的频率ffit即可求出该样片的厚度h。
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