[发明专利]一种薄膜太阳能电池激光刻划装置及其刻划方法有效
申请号: | 201810240062.8 | 申请日: | 2018-03-22 |
公开(公告)号: | CN108735609B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 陈洁 | 申请(专利权)人: | 苏州福唐智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/428 | 分类号: | H01L21/428;H01L21/68;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种薄膜太阳能电池激光刻划装置及其刻划方法,其利用多个凹陷或黑点进行对位和校准,不会对太阳能电池表面造成损伤;利用纵向方向移动的移动臂进行y方向的定位,利用刻划装置在横向方向的移动进行x方向的定位,从而确定即时的刻划位置;可以固定移动臂,利用刻划装置的横向移动进行x方向的刻划,亦可以固定刻划装置,利用移动臂的纵向移动进行y方向的刻划,方便灵活,且可以实现x和y的刻划。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 太阳能电池 激光 刻划 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜太阳能电池激光刻划装置,用于对薄膜太阳能电池周边区域的多个凹陷或黑点进行追踪刻划,包括:载置台;第一导轨,设置于所述载置台的承载面上,用于输送并承载所述薄膜太阳能电池;第二导轨,设置于所述载置台的承载面上,且位于所述第一导轨的两侧,所述第二导轨的延伸方向与所述第一导轨的延伸方向平行,并与激光刻划得到的刻划线的延伸方向相互垂直;移动臂,卡合在所述第二导轨上并横跨所述表面太阳能电池,且可沿着所述第二导轨移动,所述移动臂上设有第三导轨;刻划组件,可滑动地设置于所述第三导轨上,所述刻划组件包括间隔设置的激光刻划头和摄像头,所述激光刻划头能够对所述薄膜太阳能电池进行刻划,所述摄像头能够采集多个凹陷或黑点的图像信息;及处理模块,与所述刻划组件通讯连接,并能够根据多条所述凹陷或黑点的图像信息来调整刻划组件在多少第三导轨上的转动,以控制所述激光刻划头对所述薄膜太阳能电池进行刻划。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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