[发明专利]一种适用于MEMS谐振式传感器的闭环驱动电路在审
| 申请号： | 201810241026.3 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108599738A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 熊斌;刘松;梁亨茂;徐德辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03K3/011 | 分类号： | H03K3/011;H03F1/34;H03K5/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;钱文斌 |
| 地址： | 200050 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适用于MEMS谐振式传感器的闭环驱动电路，传感器在静电力的激励下处于谐振状态时，I/V转换器将检测电极上的感应电流转换成电压，其中反馈回路上的电阻用于设定增益，与之并联的电容则用于环路相位补偿，取代现有的相位补偿电路，降低了电路成本和复杂度。接下来，I/V转换器的输出经过二级放大器，获得进一步的增益。然后二级放大器的输出分为两路，一路用于检波器检波，检测结果与参考电压通过比较器进行比较后产生增益控制电压，用于调节VGA的增益；另一路则作为VGA的输入，根据增益控制电压进行幅度调整后产生交流驱动电压。本发明可以降低电路的成本和复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 闭环驱动电路 谐振式传感器 增益控制电压 二级放大器 复杂度 交流驱动电压 相位补偿电路 参考电压 电路成本 幅度调整 感应电流 环路相位 检测电极 检测结果 谐振状态 输出 电容 比较器 检波器 静电力 传感器 并联 电阻 检波 两路 电路 反馈 转换 | ||
【主权项】：
1.一种适用于MEMS谐振式传感器的闭环驱动电路，包括MEMS传感器、I/V转换器、放大器、检波器、比较器和可变增益放大器，所述MEMS传感器的输出端与I/V转换器的输入端，所述I/V转换器用于将MEMS传感器的检测电极上由于谐振结构振动产生的感应电流转换成电压，所述I/V转换器的输出经过放大器后分成两路，一路经过检波器进行检波，并将检测结果与参考回路的电压通过比较器进行比较后产生增益控制电压，用于调节可变增益放大器的增益，另一路作为可变增益放大器的输入，所述可变增益放大器的输出与MEMS传感器的输入端相连，其特征在于，所述I/V转换器的输出端还通过一个电阻与I/V转换器的输入端相连形成反馈回路，所述电阻两端还并联有一个用于环路相位补偿的电容。
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