[发明专利]一种基于微纳结构阵列的透射式平面分光器在审
| 申请号： | 201810242626.1 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108445562A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黎永前;杨星宇;杨林;陈悦悦;余洋;李晓莹 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学;西北工业大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B27/10 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于微纳结构阵列的透射式平面分光器，属于光学器件技术领域。该分光器为硅‑二氧化硅双层结构，所述硅矩形块阵列，为由若干个n×1周期微纳阵列结构分别在x和y向重复形成的大阵列；所述n×1周期微纳阵列结构，包括n个呈n×1排布的硅矩形块，矩形块的周期尺寸A固定，矩形块宽度W不变，长度L依次变化，在x方向上构成数个2π相位梯度单元。本发明提出的一种基于微纳结构阵列的透射式平面分光器在一个周期内设置数个相位梯度，通过对每个阵列单元内硅矩形块的尺寸控制，可使微纳结构阵列具备不同的功能，如1:1透射分光、光强1：N透射分光、透射光出射角度偏折；器件厚度尺寸在光波长数量级，可通过改变结构尺寸以实现不同波段光的分光需求。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形块 微纳结构 分光器 透射式平面 分光 相位梯度 阵列结构 透射 光波长数量级 尺寸控制 二氧化硅 改变结构 光学器件 双层结构 阵列单元 波段光 透射光 出射 光强 排布 偏折 重复 | ||
【主权项】：
1.一种基于微纳结构阵列的透射式平面分光器，其特征在于，为硅‑二氧化硅双层结构，分别由硅矩形块阵列、二氧化硅基底层构成，定义硅矩形块的长宽方向分别为x、y向；所述硅矩形块阵列，为由若干个n×1周期微纳阵列结构分别在x和y向重复形成的大阵列；所述n×1周期微纳阵列结构，包括n个呈n×1排布的硅矩形块，矩形块的周期尺寸A固定，矩形块宽度W不变，长度L依次变化，在x方向上构成数个2π相位梯度单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北工业大学;西北工业大学深圳研究院，未经西北工业大学;西北工业大学深圳研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810242626.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
