[发明专利]三维量测器件有效
| 申请号： | 201810244983.1 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN110296666B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 陈延松 | 申请（专利权）人： | 泓邦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中国台湾台北市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种三维量测器件，包含：光源、分光器、反射器、传感器、成像系统。此三维量测器件对应一干涉量测面。分光器倾斜第一角度，反射器倾斜第二角度，传感器倾斜第三角度，且干涉量测面倾斜第四角度。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 器件 | ||
【主权项】：
1.一种三维量测器件，其特征在于，包含：光源；分光器，所述分光器相对于水平方向倾斜第一角度；反射器，所述反射器的表面对应参考面，所述参考面相对于垂直方向倾斜第二角度；传感器，所述传感器的表面对应成像面，所述成像面相对于水平方向倾斜第三角度或与水平方向平行；成像系统，所述成像系统位于所述分光器和所述传感器之间；其中，所述三维量测器件具有干涉量测面，所述干涉量测面相对于水平方向倾斜第四角度，其中，于水平方向所述分光器在所述光源及所述参考面之间，且于垂直方向所述分光器在所述成像面及所述干涉量测面之间，其中，所述分光器上的任意点到所述参考面的在水平方向的距离等于所述分光器上的所述点到所述干涉量测面的在垂直方向的距离，其中，当进行量测时，所述三维量测器件往待测物照射的光平行于垂直方向。
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