[发明专利]衍射光栅外差式二维位移测量系统及方法在审
| 申请号： | 201810245787.6 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108225193A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李文昊;吕强;巴音贺希格;唐玉国;刘兆武;于宏柱 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种新型衍射光栅位移测量系统，包括双频激光器、读数头、一维测量光栅、第一接收器、第二接收器及信号处理系统，读数头采用对称的结构设计；双频激光器向信号处理系统输入参考信号并发出的具有频差且正交线偏振光入射到读数头中，在读数头中分为参考光及测量光；左右两束测量光分别入射至一维反射光栅上，并在一维反射光栅上产生衍射光，衍射光按原路返回读数头，分别与左右两束参考光相干涉，分别进入第一接收器和所述第二接收器中，信号处理系统进行信号处理，获得一维测量光栅在光栅矢量方向和光栅法线方向的位移信息。本发明在实现光栅矢量方向和光栅法线方向位移测量的同时，提高了光栅法线方向的位移测量量程，系统结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 读数头 信号处理系统 光栅法线 光栅矢量方向 第一接收器 双频激光器 接收器 光栅 反射光栅 衍射光栅 一维测量 参考光 测量光 衍射光 入射 二维位移测量 位移测量量程 位移测量系统 正交线偏振光 方向位移 位移信息 系统结构 信号处理 原路返回 外差式 频差 对称 测量 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光栅外差式二维位移测量系统，其特征在于，包括双频激光器、读数头、一维测量光栅、第一接收器、第二接收器及信号处理系统，所述读数头采用对称的结构设计；所述双频激光器发出的具有一定频差并且正交线偏振光入射到所述读数头中，在所述读数头中分为左右两束参考光及左右两束测量光；左右两束测量光分别按利特罗角入射至所述一维反射光栅上，并在所述一维反射光栅上产生衍射光，所述衍射光按原路返回所述读数头，分别与所述左右两束参考光相干涉，并分别进入所述第一接收器和所述第二接收器中；所述第一接收器及所述第二接收器将光信号转化为电信号，并输送给信号处理系统，信号处理系统进行信号处理，获得所述一维测量光栅在光栅矢量方向和光栅法线方向的位移信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810245787.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
