[发明专利]基板承载桌在审
| 申请号： | 201810246007.X | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN109841558A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 吴旻政;廖启宏 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开一实施例提供了一种基板承载桌，包括主体以及多个抽气通道。主体配置为用以支撑位于其上的基板。抽气通道设置在主体中，且分别在主体的表面上形成有抽气孔，抽气通道被配置以对基板施加真空，其中抽气通道分布在整个主体之中且排列成网格图案。 | ||
| 搜索关键词： | 抽气通道 基板承载 网格图案 主体配置 抽气孔 对基板 基板 施加 配置 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基板承载桌，包括：一主体，配置为用以支撑位于其上的一基板；以及多个抽气通道，设置在该主体中，且分别在该主体的一表面上形成有一抽气孔，所述多个抽气通道被配置以对该基板施加真空，其中所述多个抽气通道分布在整个该主体之中且排列成一网格图案。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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