[发明专利]一种加热组件

摘要

本发明涉及半导体设备加工技术领域，尤其涉及一种加热组件。本发明提供的加热组件，设于载板下方，包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；第一加热元件的排布方向垂直于第二加热元件的排布方向设置，且第一加热元件与第二加热元件在载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。结构简单，设计合理，通过设有上下两层的加热单元，每个加热单元均包括多根加热元件，且两个加热单元的加热元件在载板加热面上的投影共同构成了多个环形加热区域，如此，把载板的加热面分为多个环形的区域，有效提高了加热温度分布的均匀性，利于工艺结果的提升。

主权项

1.一种加热组件，设于载板下方，用于对所述载板的加热面进行加热，其特征在于：包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，所述第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，所述第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；所述第一加热元件的排布方向垂直于所述第二加热元件的排布方向设置，且所述第一加热元件与第二加热元件在所述载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。