[发明专利]一种应用于曝光机内曝光台面的冷却控制装置

摘要

本发明公开了一种应用于曝光机内曝光台面的冷却控制装置，包括有中框架，中框架上端装设有中框密封胶条、下端装设有散热板，散热板下端装设有底板，底板下端装设有一个进水口和一个出水口，底板下端装设有控制散热板与中框架间的正负压及附在散热板上的部分水汽的气液分流装置，气液分流装置设置有装设于底板下端的切换器，切换器连接有气缸及真空吸气口，气缸通过活塞座固定于切换器上端，且活塞座与切换器之间装设有呈锥形状的活塞。本发明具有设计新颖、结构简单，确保曝光台面温度控制在范围内，同时还改进因曝光时抽真空形成的负压客观问题，从而可大大改良因曝光过程中产生的热量影像其PCB涨缩、粘板现象及取放板定位精度等优点。

主权项

1.一种应用于曝光机内曝光台面的冷却控制装置，其特征在于：包括有中框架（1），中框架（1）上端装设有中框密封胶条（11）、下端装设有散热板（2），散热板（2）下端装设有底板（3），底板（3）下端装设有一个进水口（31）和一个出水口（32），底板（3）下端装设有控制散热板（2）与中框架（1）间的正负压及附在散热板（2）上的部分水汽的气液分流装置（4），气液分流装置（4）设置有装设于底板（3）下端的切换器（41），切换器（41）连接有气缸（42）及真空吸气口（43），气缸（42）通过活塞座（44）固定于切换器（41）上端，且活塞座（44）与切换器（41）之间装设有呈锥形状的活塞（45）。