[发明专利]一种应用于引信安保的微机电组合逻辑器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种应用于引信安保的微机电组合逻辑器件及其制备方法。本发明采用将防恒流干扰单元和静电能量疏导单元封装在半球形的封装壳内，具有防静电和防恒流干扰功能；本发明结构更具有广泛的实用性，适应不同的外部环境；其次，本发明结构的体积小、功耗低、成本低；本发明结构采用引信用芯片集成技术(FUZE ON CHIP)集成加工工艺思想，通过结构加工与布局设计确保引信安保系统的微机电安全保障系统稳定工作；本发明采用半球形的封装壳，在冲击环境下具备比相同材料其他形式结构更高的抗过载能力；同时加工成本低，易于实现产量化。

主权项

1.一种应用于引信安保的微机电组合逻辑器件，其特征在于，所述组合逻辑器件包括：绝缘衬底、封装壳、防恒流干扰单元和静电能量疏导单元；其中，在绝缘衬底上形成封装壳，封装壳为半球形的壳体，从而在封装壳与绝缘衬底之间形成封闭的半球形的空腔；在空腔内，一个或多个防恒流干扰单元以及一个或多个静电能量疏导单元设置在绝缘衬底上；防恒流干扰单元包括第一衬底、控制电极、绝缘层和导线连接电极，在第一衬底上形成控制电极，在控制电极上形成绝缘层，在绝缘层上形成导线连接电极，控制电极串联接入外部控制电路中，导线连接电极的一端连接火工品，另一端连接至起爆电路；当外界无电流干扰时，来自起爆电路的起爆信号通过导线连接电极发送至火工品，火工品正常工作；当有电流干扰信号时，电流干扰信号驱动控制电极工作，导致控制电极发生电爆炸，产生的能量熔断上层的导线连接电极，从而实现有效避免由于外界电流干扰信号造成的火工品误触发现象；静电能量疏导单元包括第二衬底以及形成在其上的两组放电电极，两组放电电极之间有距离互相不导通，两组放电电极的两端分别并联在火工品上，并且在两组放电电极之上的封装壳内形成空气流体；在正常状态下，两组放电电极之间不导通，在火工品的两端为断路；当火工品两端具有干扰的高脉冲的静电电压时，高脉冲的静电电压使得并联在火工品两端的封装壳内封闭的小空间产生瞬态的高温和强电耦合环境，使得空气流体被激发，从而发生击穿，击穿电压使得两组放电电极导通，此时，火工品短路，高脉冲的静电能量被转移至两组放电电极上，从而保证火工品的安全。/n