[发明专利]用于降低电子截获的场发射高精度双栅结构及其加工方法有效
| 申请号： | 201810250625.1 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108493080B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 肖梅;张晓兵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;H01J1/46;H01J9/02;H01J9/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于降低电子截获的场发射高精度双栅结构及其加工方法，双栅结构包括阴极基底、陶瓷底板、阴极、第一栅网金属片、第二栅网金属片、阳极板、第一陶瓷柱、第二陶瓷柱和第三陶瓷柱；阳极板设在陶瓷底板上方通过两个第一陶瓷柱连接，第二栅网金属片与第一栅网金属片结构相同且十字交叉设置，中心部均设有网孔位置对应的栅网，第一栅网金属片设在阳极板和陶瓷底板之间通过两个第二陶瓷柱连接；第二栅网金属片设在阳极板和第一栅网金属片之间通过两个第三陶瓷柱连接；阴极基底设在陶瓷底板底面中心部，阴极贯穿陶瓷底板与阴极基底顶面垂直连接。本发明结构及加工方法简单，能解决阴极与栅网孔之间的对中问题，能大幅度提高栅网的透过率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 降低 电子 截获 发射 高精度 结构 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.用于降低电子截获的场发射高精度双栅结构，其特征在于：包括阴极基底、陶瓷底板、阴极、第一栅网金属片、第二栅网金属片、阳极板、第一陶瓷柱、第二陶瓷柱和第三陶瓷柱；所述阳极板设在陶瓷底板上方，阳极板和陶瓷底板之间通过两个第一陶瓷柱连接，第二栅网金属片与第一栅网金属片结构相同且十字交叉设置，中心部均设有网孔位置对应的栅网，第一栅网金属片设在阳极板和陶瓷底板之间，第一栅网金属片和陶瓷底板之间通过两个第二陶瓷柱连接；第二栅网金属片设在阳极板和第一栅网金属片之间，第二栅网金属片和陶瓷底板之间通过两个第三陶瓷柱连接；阴极基底设在陶瓷底板底面中心部，阴极贯穿陶瓷底板，阴极顶面与第一栅网金属片底面贴合，阴极底面与阴极基底顶面垂直连接。
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