[发明专利]金属基带的表面处理工艺、装置及金属基带用于高温超导带材制备的方法有效

专利信息
申请号: 201810250652.9 申请日: 2018-03-26
公开(公告)号: CN108277472B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 熊旭明;王延恺;李小宝;夏金成;陈慧娟 申请(专利权)人: 苏州新材料研究所有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/08;C23C14/02;B24B29/02;B24B57/02;B24B53/007
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 范晴
地址: 215125 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种带材表面处理技术领域的金属基带的表面处理方法、装置及金属基带用于高温超导带材制备的方法,对原始金属基带先后进行粗抛处理和精抛处理,所述粗抛处理包括机械抛光和/或电化学抛光,所述精抛处理采用离子束抛光,最终制得粗糙度小于1纳米的金属基带。本发明对原始基带先粗抛后精抛,精抛采用离子束抛光,提高了抛光工序的产能,降低了成本,同时有利于在带材表面进行薄膜沉积。
搜索关键词: 金属 基带 表面 处理 工艺 装置 用于 高温 超导 制备 方法
【主权项】:
1.一种金属基带的表面处理方法,其特征在于,对原始金属基带先后进行粗抛处理和精抛处理,所述粗抛处理包括机械抛光和/或电化学抛光,所述精抛处理采用离子束抛光,最终制得粗糙度小于1纳米的金属基带。
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