[发明专利]一种微角度驱动装置的制备方法有效
| 申请号： | 201810252077.6 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108494284B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 郭玉华 | 申请（专利权）人： | 徐明秀 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人： | 王成红 |
| 地址： | 318000 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微角度驱动装置的制备方法，包括提供一具有开口结构的衬底，在所述开口上方形成具有悬空结构的双抛双氧硅片、粘结层、下电极、压电层、Ti/Pt上电极叠层，经图案化后形成异形结构。针对现有技术中通常采用矩形的压电器件，通过压电器件的伸缩实现位移驱动，但是其驱动效率和位移范围有待提高的问题，本发明提供了一种微角度驱动装置的制备方法，实现了较高的驱动效率和较大的驱动位移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 驱动 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微角度驱动装置的制备方法，包括：步骤(1)，提供一衬底，在所述衬底上形成开口；步骤(2)，提供一双抛双氧硅片，将所述双抛双氧硅片固定到所述开口上方；步骤(3)，在所述双抛双氧硅片上依次制备粘结层、下电极、压电层、T i/Pt上电极，经图案化后形成具有异形结构的压电单元，所述异形结构为两端宽度大于中间宽度的条状结构；步骤(4)，利用所述压电单元和掩膜图案化所述双抛双氧硅片，形成中心区域和两组支撑臂，中心区域通过对称设置的两组支撑臂连接至所述衬底，其中每组支撑臂均具有连续结构，所述连续结构包含位于所述支撑臂端部的接头和连接臂，连接臂具有与压电单元对应的异形结构，所述支撑臂的尾部连接至所述衬底；步骤(5)，将驱动单元电连接至压电单元的下电极和上电极。
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