[发明专利]一种多路扫描与探测的线共聚焦成像装置

摘要

本发明公开了一种多路扫描与探测的线共聚焦成像装置，包括：激发光模块、扫描成像模块以及探测模块；激发光模块用于提供由两束激光束整形得到的两条相互分离的线光斑，激光束的倾斜角和发散角均可调节；扫描成像模块用于将两条线光斑聚焦到不同的成像位置，从而产生两束成像光束，并实现三维扫描成像；探测模块用于实现两路成像光束的分离和探测；通过精细调节激发光模块中两路光束的倾斜角和发散角，可以实现双焦面同时扫描成像或者单物镜视场同一焦面双线同时扫描成像。本发明能够有效提高成像速度，同时便于系统调节。

主权项

1.一种多路扫描与探测的线共聚焦成像装置，其特征在于，包括：激发光模块(1)、扫描成像模块(2)以及探测模块(3)；所述激发光模块(1)用于提供由两束激光束整形得到的两条相互分离的线光斑，所述激光束的倾斜角和发散角均可调节；所述扫描成像模块(2)用于将两条线光斑聚焦到不同的成像位置，从而产生两束成像光束，并控制样本沿X方向、Y方向及Z方向移动以实现三维扫描成像；所述探测模块(3)用于实现两束成像光束的分离和探测；基于激光束的发散角可调节，经激光束整形得到的线光斑被聚焦后的Z方向位置可调节；基于激光束的倾斜角可调节，经激光束整形得到的线光斑被聚焦后的X方向位置可调节；其中，X方向为扫描方向，Z方向为样本轴向，Y方向为同一焦面内成像条带的分布方向，且X方向、Y方向、Z方向构成右手坐标系。