[发明专利]薄层导电材料的测试装置、表面电阻的测试方法、损伤信息的测试方法在审
| 申请号： | 201810254164.5 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108535329A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 朱嘉琦;陈学儒;杨磊;夏菲;高岗;王鹏;代兵;韩杰才 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N27/90 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 毕雅凤 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 薄层导电材料的测试装置、表面电阻的测试方法、损伤信息的测试方法，涉及薄层导电材料的测试领域，为了解决现有接触式检测只能在导电材料表面进行接触测量，以及涡流损伤检测在nm级厚度材料的检测中不能适用的问题。恒流的射频电流发生器用于驱动LC振荡电路，薄层导电材料通过缠绕电感线圈的铁氧体耦合到LC振荡电路中；滤波电路用于对LC振荡电路输出的电压进行滤波，得到直流电压。如果直流电压发生变化，则薄层导电材料存在损伤，否则不存在损伤。采用已知表面电阻的标准薄层导电材料进行标定；计算表面电阻与直流电压的对应关系；结合耦合待测薄层导电材料时的直流电压得到待测薄层导电材料的表面电阻。本发明适用于测试薄层导电材料。 | ||
| 搜索关键词： | 导电材料 薄层 表面电阻 直流电压 测试 损伤 测试装置 射频电流发生器 导电材料表面 接触式检测 涡流 测试领域 电感线圈 厚度材料 接触测量 滤波电路 损伤检测 耦合 铁氧体 耦合到 标定 恒流 滤波 缠绕 驱动 检测 输出 | ||
【主权项】：
1.薄层导电材料的测试装置，其特征在于，包括恒流的射频电流发生器(1)、LC振荡电路(2)、铁氧体(3)和滤波电路；LC振荡电路(2)包括电容和电感线圈；电容和电感线圈并联；恒流的射频电流发生器(1)用于驱动LC振荡电路(2)，薄层导电材料(4)感生磁场、感生出的磁场反作用于原生磁场；滤波电路用于对LC振荡电路(2)输出的电压进行滤波，滤除高频成分，得到直流电压，根据直流电压测试损伤信息和表面电阻。
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