[发明专利]13族元素氮化物膜及其叠层体

摘要

在晶种基板(11)上，通过助熔剂法由含有助熔剂及13族元素的熔液，于含氮氛围下育成13族元素氮化物(3)。13族元素氮化物膜(3)含有夹杂物分布层(3a)和夹杂物缺乏层(3b)，所述夹杂物分布层(3a)被设置于自晶种基板(11)侧的界面起50μm以下的区域，且分布有源自熔液的构成成分的夹杂物，所述夹杂物缺乏层(3b)被设置于该夹杂物分布层(3a)上。

主权项

1.一种13族元素氮化物膜，是在晶种基板上通过助熔剂法从含有助熔剂及13族元素的熔液于含氮氛围下育成的13族元素氮化物膜，其特征在于，所述13族元素氮化物膜含有夹杂物分布层和夹杂物缺乏层，所述夹杂物分布层被设置于自所述13族元素氮化物膜的所述晶种基板侧的界面起50μm以下的区域，且分布有源自所述熔液的成分的夹杂物，所述夹杂物缺乏层被设置于该夹杂物分布层上；所述夹杂物是以倍率200倍的透射型光学显微镜观测到的异相；所述夹杂物分布层的夹杂物面积比率为1％以上、10％以下，所述夹杂物缺乏层的夹杂物面积比率为不足1％；沿着所述13族元素氮化物膜的横截面观察时，所述夹杂物分布层中的所述夹杂物的面积的最大值为20～60μm2。