[发明专利]一种由同种金属与氧族元素构成的异质结薄膜及其制备和应用有效

专利信息
申请号: 201810255662.1 申请日: 2018-03-26
公开(公告)号: CN108479806B 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 蒋良兴;陈佳;汪颖;刘芳洋;赖延清;李劼 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: B01J27/04 分类号: B01J27/04;B01J27/057;B01J35/06;H01L31/0224;H01M4/36;H01M4/48;H01M4/58;H01M10/0525
代理公司: 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 代理人: 盛武生;魏娟
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明涉及一种由同种金属与氧族元素构成的异质结薄膜的制备方法,金属盐、酸和水混合,得金属前驱体溶液;金属前驱体溶液在pH2~11、30~90℃下,在基底表面沉积、形成金属氧化物;金属氧化物与硫源、硒源中的至少一种在100~600℃的温度和‑0.05~1MPa的气压下进行热处理2~120min,得到所述的异质结薄膜;所述的异质结薄膜为金属的氧化物‑硫化物异质结薄膜、金属的氧化物‑硒化物异质结薄膜或金属的氧化物‑硫化物‑硒化物异质结薄膜。本发明还公开了所述的方法制得的异质结薄膜以及其应用。该法具有设备简单,价格便宜,易于大面积连续化生产等优点,所制备的薄膜厚度成分可控、形貌致密均匀、结晶性能和光电性能良好。
搜索关键词: 一种 同种 金属 元素 构成 异质结 薄膜 及其 制备 应用
【主权项】:
1.一种由同种金属与氧族元素构成的异质结薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤(1):金属盐、酸和水混合,得金属前驱体溶液;步骤(2):金属前驱体溶液在pH2~11、30~90℃下,在基底表面沉积、形成金属氧化物;步骤(3):将步骤(2)得到金属氧化物与硫源、硒源中的至少一种在100~600℃的温度和‑0.05~1MPa的气压下进行热处理2~120min,得到所述的异质结薄膜;所述的异质结薄膜为金属的氧化物‑硫化物异质结薄膜、金属的氧化物‑硒化物异质结薄膜或金属的氧化物‑硫化物‑硒化物异质结薄膜。
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