[发明专利]一种由同种金属与氧族元素构成的异质结薄膜及其制备和应用有效
申请号: | 201810255662.1 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN108479806B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 蒋良兴;陈佳;汪颖;刘芳洋;赖延清;李劼 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | B01J27/04 | 分类号: | B01J27/04;B01J27/057;B01J35/06;H01L31/0224;H01M4/36;H01M4/48;H01M4/58;H01M10/0525 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人: | 盛武生;魏娟 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种由同种金属与氧族元素构成的异质结薄膜的制备方法,金属盐、酸和水混合,得金属前驱体溶液;金属前驱体溶液在pH2~11、30~90℃下,在基底表面沉积、形成金属氧化物;金属氧化物与硫源、硒源中的至少一种在100~600℃的温度和‑0.05~1MPa的气压下进行热处理2~120min,得到所述的异质结薄膜;所述的异质结薄膜为金属的氧化物‑硫化物异质结薄膜、金属的氧化物‑硒化物异质结薄膜或金属的氧化物‑硫化物‑硒化物异质结薄膜。本发明还公开了所述的方法制得的异质结薄膜以及其应用。该法具有设备简单,价格便宜,易于大面积连续化生产等优点,所制备的薄膜厚度成分可控、形貌致密均匀、结晶性能和光电性能良好。 | ||
搜索关键词: | 一种 同种 金属 元素 构成 异质结 薄膜 及其 制备 应用 | ||
【主权项】:
1.一种由同种金属与氧族元素构成的异质结薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤(1):金属盐、酸和水混合,得金属前驱体溶液;步骤(2):金属前驱体溶液在pH2~11、30~90℃下,在基底表面沉积、形成金属氧化物;步骤(3):将步骤(2)得到金属氧化物与硫源、硒源中的至少一种在100~600℃的温度和‑0.05~1MPa的气压下进行热处理2~120min,得到所述的异质结薄膜;所述的异质结薄膜为金属的氧化物‑硫化物异质结薄膜、金属的氧化物‑硒化物异质结薄膜或金属的氧化物‑硫化物‑硒化物异质结薄膜。
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