[发明专利]磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向方法及取向装置在审
| 申请号： | 201810257100.0 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108279391A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李大来;蒋乐跃;刘海东 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 苏州市新苏专利事务所有限公司 32221 | 代理人： | 朱亦倩 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于斜坡的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向方法和装置，磁电阻传感器包括：设置于基板上的斜坡，斜坡包括底面和倾斜表面，且倾斜表面和底面的夹角为斜坡倾斜角α；磁场传感单元，其具有磁易轴和与磁易轴垂直的磁敏感轴，磁场传感单元包括形成于斜坡的倾斜表面的第二磁电阻条和位于第二磁电阻条上并与第二磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第二短路条，第二磁电阻条和第二短路条之间的夹角为γ，所述掩模板包括位于所述掩模板平面内的第一磁电阻条和与所述第一磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第一短路条，其特征在于，所述方法包括：将所述第一磁电阻条和第一短路条之间的夹角设置为β，其中，tan(β)＝tan(γ)cos(α)。 | ||
| 搜索关键词： | 磁电阻条 短路条 斜坡 掩模板 磁电阻传感器 倾斜表面 磁场传感单元 夹角为 取向 易轴 平行 方法和装置 夹角设置 取向装置 垂直的 磁敏感 底面 基板 | ||
【主权项】：
1.一种基于斜坡的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向方法，所述磁电阻传感器包括：设置于基板上的斜坡，所述斜坡包括底面和倾斜表面，且所述倾斜表面和底面的夹角为斜坡倾斜角α；磁场传感单元，其具有磁易轴和与所述磁易轴垂直的磁敏感轴，所述磁场传感单元包括形成于所述斜坡的倾斜表面的第二磁电阻条和位于所述第二磁电阻条上并与所述第二磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第二短路条，所述第二磁电阻条和第二短路条之间的夹角为γ，所述掩模板包括位于所述掩模板平面内的第一磁电阻条和与所述第一磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第一短路条，其特征在于，所述方法包括：将所述第一磁电阻条和第一短路条之间的夹角设置为β，其中，tan(β)＝tan(γ)cos(α) (1)。
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