[发明专利]蒸镀用基板及其制造方法、蒸镀方法在审
| 申请号： | 201810257813.7 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110306158A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 贵炳强;吕振华;曲连杰;齐永莲;王海宝;张华冰;牟玉喆;赵合彬;邱云 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 胡萌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀用基板及其制造方法、蒸镀方法，以解决现有蒸镀工艺引起高PPI开发受限的问题。其中该蒸镀用基板包括：衬底基板；设置于衬底基板一面上的至少一组导电电极，每组导电电极的位置对应显示面板中同一颜色子像素的位置，导电电极在通电时发热。该蒸镀方法包括：提供如上所述的蒸镀用基板，在该蒸镀用基板未设置导电电极的一面上沉积子像素材料；使蒸镀用基板与待蒸镀基板保持一定的间隙，并使蒸镀用基板沉积有子像素材料的一面朝向待蒸镀基板；对二者进行对位，使一组导电电极正对待蒸镀基板的待蒸镀子像素材料的区域；向导电电极通电使导电电极发热，促使导电电极对应的子像素材料蒸发至待蒸镀子像素材料的区域上。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 导电电极 基板 子像素 蒸镀基板 衬底基板 沉积 发热 通电 颜色子像素 显示面板 基板未 对位 受限 蒸发 制造 开发 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用基板，其特征在于，所述蒸镀用基板包括：衬底基板；设置于所述衬底基板一面上的至少一组导电电极，每组所述导电电极的位置对应显示面板中同一颜色子像素的位置，所述导电电极在通电时发热。
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