[发明专利]KDP晶体的清洗方法有效
申请号: | 201810258804.X | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN108499966B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 邓雪然;杨伟;雷向阳;张清华;惠浩浩;马红菊;张剑锋;王梓龙;张帅;苏文虎;张利平;王健;许乔 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10;B08B11/00;B08B13/00 |
代理公司: | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人: | 何凡 |
地址: | 621900*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种KDP晶体的清洗方法,包括以下步骤:惰性气体保护下,将KDP晶体浸入清洗液中静置1.5‑2.5h,然后依次采用频率为35‑45kHz、90‑110kHz和170‑190kHz的超声波对其进行清洗,清洗时间分别为0.5‑1.5h、0.5‑1.5h和0.5‑1.5h,清洗过程中超声功率为4‑6kW。采用本发明的清洗方法清洗KDP晶体表面,可有效去除KDP晶体表面的污染物,经过本发明清洗方法清洗后的KDP晶体表面光滑洁净,不会产生断裂性划痕。 | ||
搜索关键词: | kdp 晶体 清洗 方法 | ||
【主权项】:
1.KDP晶体的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:惰性气体保护下,将KDP晶体浸入含水量低于300ppm的清洗液中静置1.5‑2.5h,然后依次采用频率为35‑45kHz、90‑110kHz和170‑190kHz的超声波对其进行清洗,清洗时间分别为0.5‑1.5h、0.5‑1.5h和0.5‑1.5h,清洗过程中超声功率为4‑6kW。
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