[发明专利]一种石墨烯马赫-曾德尔强度调制器及其线性化方法有效
| 申请号： | 201810258894.2 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108388034B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 张尚剑;田楚铭;邹新海;张雅丽;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯马赫‑曾德尔强度调制器及其线性化方法，包括第一调制臂、第二调制臂、第一正电极、第二正电极、负电极和衬底层，第一调制臂和第二调制臂为石墨烯脊型波导，且两调制臂构成马赫‑曾德尔干涉结构；所述石墨烯脊型波导从上到下依次包括第一脊部、石墨烯层、第二脊部；第一脊部与石墨烯层被第一隔离层隔离，第二脊部与石墨烯层被第二隔离层隔离；所述第一正电极和第二正电极分别位于第一调制臂和第二调制臂石墨烯脊型波导延伸出的石墨烯层上，负电极位于石墨烯脊型波导延伸出的第一隔离层上；输入端入射恒定功率的TE模式的光波，改变调制臂的偏置电压，测量调制器的输出光功率，得到调制器的透射光功率随偏置电压变化的曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 马赫 曾德尔 强度 调制器 及其 线性化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯马赫‑曾德尔强度调制器，其特征在于：包括第一调制臂(1)、第二调制臂(2)、第一正电极(3)、第二正电极(4)、负电极(5)和衬底层(11)，第一调制臂(1)和第二调制臂(2)为石墨烯脊型波导(12)，且两调制臂构成马赫‑曾德尔干涉结构；所述石墨烯脊型波导(12)从上到下依次包括第一脊部(6)、石墨烯层(8)、第二脊部(7)；第一脊部(6)与石墨烯层(8)被第一隔离层(9)隔离，第二脊部(7)与石墨烯层(8)被第二隔离层(10)隔离；所述第一正电极(3)和第二正电极(4)分别位于第一调制臂(1)和第二调制臂(2)石墨烯脊型波导(12)延伸出的石墨烯层(8)上，负电极(5)位于石墨烯脊型波导(12)延伸出的第一隔离层(9)上。
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