[发明专利]一种微电子元器件清洁设备及方法有效
| 申请号： | 201810261425.6 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108746002B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 夏森;黄耀;陈大龙;芮望颐 | 申请（专利权）人： | 深圳市科普伦科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市博太联众专利代理事务所(特殊普通合伙) 44354 | 代理人： | 任转英 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微电子元器件清洁设备及方法，包括清洗室、离心清洗单元、蒸汽发生单元、蒸汽输入单元、负压控制单元和第一电机(13)，所述清洗离心单元设置在清洗室(2)内部，待清洗的微电子元器件放置在离心清洗单元上，蒸汽发生单元通过蒸汽输入单元向清洗室输入蒸汽，所述负压控制单元调整清洗室(2)内容积控制清洗室(2)压强，第一电机(13)同时为蒸汽输入单元和负压控制单元提供动力。微电子元器件的清洗有利于提高电子元件的质量和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 元器件 清洁 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微电子元器件清洁设备，其特征在于,包括清洗室、离心清洗单元、蒸汽发生单元、蒸汽输入单元、负压控制单元和第一电机(13)，所述清洗离心单元设置在清洗室(2)内部，待清洗的微电子元器件放置在离心清洗单元上，蒸汽发生单元通过蒸汽输入单元向清洗室输入蒸汽，所述负压控制单元调整清洗室(2)内容积控制清洗室(2)压强，第一电机(13)同时为蒸汽输入单元和负压控制单元提供动力。
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