[发明专利]一种润滑/导电双功能NbSe有效
| 申请号： | 201810261644.4 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108517499B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 郝俊英;刘金玉;徐书生;刘维民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/18 |
| 代理公司： | 62002 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 周瑞华 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种润滑/导电双功能NbSe | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 双功能 导电 低温制备 滑动部件表面 摩擦学性能 氩气 大气环境 导电性能 动态接触 固体薄膜 滑动模式 溅射靶材 溅射气体 静态接触 均匀致密 快速沉积 摩擦系数 射频电源 择优取向 电接触 溅射源 电阻 制备 应用 | ||
【主权项】：
1.一种润滑/导电双功能NbSe
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