[发明专利]用于检测线性加速力的三轴惯性传感器有效
申请号: | 201810261909.0 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN108663039B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 汤俊 | 申请(专利权)人: | 恩智浦美国有限公司 |
主分类号: | G01C19/5656 | 分类号: | G01C19/5656 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种惯性传感器包括检测质量块,所述检测质量块与基板的表面间隔开。所述检测质量块具有第一部分和第二部分,其中,所述第一部分具有第一质量,所述第一质量大于所述第二部分的第二质量。锚定件耦合到所述基板的所述表面上,并且弹簧系统互连于所述锚定件与所述检测质量块的所述第一和第二部分之间。所述弹簧系统能够响应于在三个正交方向中的任何正交方向上强加于所述惯性传感器上的线性加速力而实现所述检测质量块的所述第一和第二部分的平移运动。 | ||
搜索关键词: | 用于 检测 线性 加速 惯性 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种惯性传感器,其特征在于,包括:检测质量块,所述检测质量块与基板的平面表面间隔开,所述检测质量块具有第一部分和第二部分,所述第一部分具有第一质量,所述第一质量大于所述第二部分的第二质量;锚定件,所述锚定件耦合到所述基板的所述平面表面上;以及弹簧系统,所述弹簧系统互连于所述锚定件与所述检测质量块的所述第一和第二部分之间,所述弹簧系统被配置成能够响应于在三个正交方向中的任何正交方向上强加于所述惯性传感器上的线性加速力而实现所述检测质量块的所述第一和第二部分的平移运动。
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