[发明专利]一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备

摘要

本发明公开了一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备，属于OLED真空蒸镀装备领域。本发明的目的是解决现有装置设备复杂，工作效率低下的问题。本发明的基片样品架包括支撑架和基片架，通过在支撑架上设置一组凸台，使基片架下方可形成一用于掩模板架放入的操作空间，以便于快速更换掩模板。本发明还公开一种掩模板更换方法，首先将实际作业位置的掩模板架与基片架置于暂存位置；然后更换掩模板；最后将基片架与掩模板架重新对位并放置于实际作业位置。本发明还公开一种基片更换方法，首先将掩模板置于基片架上，再将基片从基片架上取出更换，再将掩模版与基片架重新对位，放置于作业位置。本发明可以应用于半导体器件的薄膜沉积等制程。

主权项

1.一种基片样品架，包括：支撑架、基片架，其特征在于，所述支撑架上设置有第一对位结构，所述基片架上设置有第二对位结构，所述第二对位结构可与所述第一对位结构相配合，可使所述基片架与所述支撑架对位；所述支撑架上设置有至少一凸台，用于支撑所述基片架。