[发明专利]一种闪光灯退火炉

摘要

本发明公开了一种闪光灯退火炉，壳体内部为真空腔，真空腔的侧面设置有真空计和进气阀，底部设置有抽气阀，另一侧设置有真空腔门，真空腔门上设置有观察窗；真空腔的顶部分别设置有高能闪光灯、锥形反光镜和凸透镜以实现高能光的聚集；中间部位设置有滤光片、样品挡板、挡板支架，样品挡板通过挡板支架进行转动以遮挡和保护制品；样品挡板的下面设置有样品台和样品台转轴，样品台通过样品台转轴匀速转动并与外部水冷装置相连接；壳体的外部还设置有脉冲发生器和功率源，脉冲发生器与两高能闪光灯通过电线连接电源。本发明解决了有机柔性衬底上无机非金属薄膜晶化的技术难题，成本低廉，理念先进，推动了电子技术的发展。

主权项

1.一种闪光灯退火炉，包括壳体、真空腔和闪光灯，其特征在于，所述壳体(20)的内部为真空腔(1)，真空腔(1)的侧面设置有真空计(6)和进气阀(7)，真空腔(1)的底部设置有抽气阀(17)，真空腔(1)的另一侧面设置有真空腔门(18)，真空腔门(18)上设置有观察窗(19)；真空腔(1)的顶部两端分别设置有高能闪光灯(8)，每个高能闪光灯(8)还分别设置有锥形反光镜(9)和凸透镜(10)以实现高能光的聚集；真空腔(1)的中间部位设置有滤光片(11)，滤光片(11)通过滤光片支撑杆(12)与壳体相连接；滤光片(11)的下面设置有样品挡板(13)，样品挡板(13)通过挡板支架(14)支撑于真空腔内，并通过挡板支架(14)进行转动以遮挡和保护制品；样品挡板(13)的下面设置有样品台(15)，样品台(15)下面的中央位置设置有样品台转轴(16)，样品台(15)内设置水有水冷循环装置，样品台转轴(16)为中空可旋转结构，样品台(15)通过样品台转轴(16)匀速转动并与外部水冷装置相连接；壳体(20)的外部还设置有脉冲发生器(3)和功率源(5)，两者通过电缆(4)相连接；脉冲发生器(3)与两高能闪光灯(8)通过电线(2)连接电源。