[发明专利]一种SAW滤波器芯片新型划切技术在审
| 申请号： | 201810269141.1 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108527692A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 周一峰;沈旭铭;陈景 | 申请（专利权）人： | 海宁市瑞宏科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于SAW滤波器芯片的无保护胶划切技术，利用特殊的无污染试剂混入划切水划切。本发明提供的划切方式可以在无需保护胶的情况下，安全地对芯片进行划切，有效减少切屑残留。所使用的试剂无毒、可生物降解，废液无需特殊处理。本发明具有简化工艺，降低成本以及零污染排放的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 保护胶 可生物降解 有效减少 零污染 废液 混入 切屑 无毒 残留 排放 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于SAW滤波器芯片的无保护胶划切技术，其特征在于无需在晶圆表面涂覆保护胶，而是利用特殊的无污染试剂混入划切水中划切。
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