[发明专利]非连续型磁性溅镀靶材装置

摘要

本发明提供一种非连续型磁性溅镀靶材装置，其包含：基板以及靶材单元，靶材单元设置于基板，靶材单元具有长条状的内侧靶材、内环靶材及外环靶材，内环靶材设于内侧靶材与外环靶材之间，其中，内环靶材具有两对应设置的内环长边及连接两内环长边的两内环短边，两内环长边具有内环切断接缝，内环切断接缝的两侧形成对应连接的两内环断面；据此，使内环靶材呈不连续环状结构，以改善应力变形翘曲的问题。

主权项

1.一种非连续型磁性溅镀靶材装置，其特征在于，包含：基板；以及靶材单元，其设置于所述基板，所述靶材单元具有内侧靶材、内环靶材及外环靶材，所述内侧靶材呈长条状，所述内环靶材具有磁性且环设于所述内侧靶材的外周缘，所述外环靶材环设于所述内环靶材的外周缘，其中，所述内环靶材具有两对应设置的内环长边及连接所述两内环长边两端的两内环短边，所述两内环长边的至少其中之一具有一内环切断接缝，所述内环靶材于所述内环切断接缝的两侧形成对应连接的两内环断面。