[发明专利]一种高温静电卡盘及其制作方法

摘要

一种高温静电卡盘，包括基座，基座上方依次设有上过渡层、吸附电极层和上绝缘层，基座下方依次设有下过渡层、加热电极层和下绝缘层，吸附电极层包括双吸附电极，吸附晶片时双电极分别通以幅度相同、极性相反且相位相差180°的直流脉冲电压，释放晶片时双电极的正负极性互换，加热电极层包括至少两个加热区，各加热区的圆心重合并均匀布置且加热功率独立控制。卡盘的制作方法，包括步骤：采用磁控镀膜在基座的上、下表面分别沉积上过渡层和下过渡层；在下过渡层背面沉积加热电极层；在加热电极层背面沉积下绝缘层；在上过渡层正面沉积吸附电极层；在吸附电极层正面沉积上绝缘层。本发明具有晶片温度均匀性好、吸附紧固，生产效率高等优点。

主权项

1.一种高温静电卡盘，其特征在于：包括基座(1)，所述基座(1)上方依次设有上过渡层(2)、吸附电极层(3)和上绝缘层(4)，所述基座(1)下方依次设有下过渡层(5)、加热电极层(6)和下绝缘层(7)，所述吸附电极层(3)包括双吸附电极，吸附晶片时双吸附电极分别通以幅度相同、极性相反且相位相差180°的直流脉冲电压，释放晶片时双吸附电极的正负极性互换，所述加热电极层(6)包括至少两个加热区，各加热区的圆心重合并均匀布置，各加热区的加热功率独立控制。