[发明专利]检测系统和检测方法有效
| 申请号： | 201810276781.5 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110320209B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 陆海亮;杨业超;孙书诚;邓兵;张鹏黎;徐文;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测系统和检测方法，包括：运动单元、检测单元及校验单元；其中，所述运动单元用以承载待检测对象，并带动所述待检测对象至预定位置后向所述检测单元和所述校验单元发出触发信号；所述检测单元用以根据所述触发信号在预定位置对所述待检测对象执行检测操作；所述校验单元用以根据所述触发信号及所述预定位置的信息得到所述检测单元缺失的预定位置。在本发明提供的检测系统和检测方法中，所述校验单元能检测到所述检测单元缺失的预定位置，由此在检测单元丢了一些需要操作的预定位置的情况下，也无须重新扫描以获取缺失的预定位置，避免了因为预定位置的信息的丢失而检测整个待检测对象，提高了检测系统的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：运动单元、检测单元及校验单元；其中，所述运动单元用以承载待检测对象，并带动所述待检测对象至预定位置后向所述检测单元和所述校验单元发出触发信号；所述检测单元用以根据所述触发信号在预定位置对所述待检测对象执行检测操作；所述校验单元用以根据所述触发信号及所述预定位置的信息得到所述检测单元缺失的预定位置。
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