[发明专利]一种两自由度探针进给机构在审
| 申请号： | 201810279239.5 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108776239A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 田延岭;卢康康;王福军;张大卫 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种两自由度探针进给机构，包括基体、沿Y轴中心线对称布置的两个柔性桥式放大机构、半圆形连接铰链、双平行板导向机构，Z型柔性机构组成，其中两个所述柔性桥式放大机构沿Y向布置，并分别由一个压电陶瓷驱动器驱动，产生X方向输出位移，并经由所述半圆形连接铰链，将力和运动传递到所述双平行板导向机构，最后运动传递到机构中央的Z型柔性机构，在两侧对称、向中央挤压的输入位移作用下，Z型柔性机构将产生Z向的输出位移，探针与位移传感器连接到Z型柔性机构的中心。本发明的探针进给机构不但能够实现探针竖直方向的进给运动，而且能够进行水平方向的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 柔性机构 进给机构 导向机构 放大机构 连接铰链 两自由度 输出位移 运动传递 平行板 柔性桥 压电陶瓷驱动器 中心线对称布置 位移传感器 进给运动 输入位移 竖直 对称 挤压 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种两自由度探针进给机构，其特征在于，包括基体、柔性桥式放大机构、半圆形连接铰链、双平行板导向机构和Z型柔性机构，所述柔性桥式放大机构沿Y轴相对称的设置有两个，并分别由一个压电陶瓷驱动器驱动以产生X方向的输出位移，并经由所述半圆形连接铰链，将力和运动传递至所述双平行板导向机构，最后运动传递至位于进给机构中央的Z型柔性机构，在两侧对称且向中央挤压的输入位移作用下，Z型柔性机构将产生Z向的输出位移，所述Z型柔性机构的中心设有探针与位移传感器。
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