[发明专利]一种芬顿与超声辅助变刚度气压砂轮抛光SiC曲面方法有效
| 申请号： | 201810280944.7 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN108346567B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 赵军;江恩勇;计时鸣 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/304 | 分类号： | H01L21/304 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
一种芬顿与超声辅助变刚度气压砂轮抛光SIC曲面方法，先将SIC工件不需要加工的表面套上隔绝材料，然后完全浸没在装有芬顿试剂的反应池中，待一段时间反应，在SIC工件的表面生成等厚均匀的SIO |
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| 搜索关键词： | 一种 超声 辅助 刚度 气压 砂轮 抛光 sic 曲面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种芬顿与超声辅助变刚度气压砂轮抛光SIC曲面方法，其特征在于：先将SIC工件不需要加工的表面套上隔绝材料，然后完全浸没在装有芬顿试剂的反应池中，待一段时间反应，在SIC工件的表面生成等厚均匀的SIO2表层后，将SIC工件取出，用限位装置固定在工作台上，通过浮动连接装置可以保证抛光力是恒力，进而保证发生反应后生成的SIO2表层均匀去除；通过机械臂可以调节工具系统相对于于工件的位置及姿势，通过改变进入变刚度气压砂轮的压缩空气的气压可以调节变刚度气压砂轮的刚度，这可以更好的使变刚度气压砂轮与自由曲面的SIC工件贴合；最后使用超声振动装置辅助变刚度气压砂轮对自由曲面的SIC工件进行恒力随形抛光。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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