[发明专利]一种芬顿辅助变刚度气压砂轮抛光SIC光学自由曲面方法在审
| 申请号： | 201810281070.7 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN108372442A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 赵军;江恩勇;计时鸣 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/005;B24B13/01;B24B41/00;B24B41/02;C04B41/87 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种芬顿辅助变刚度气压砂轮抛光SIC光学自由曲面方法，先将SIC工件不需要加工的表面套上隔绝材料，然后完全浸没在装有芬顿试剂的反应池中，待一段时间反应，在SIC工件的表面生成等厚均匀的SIO2表层后，将SIC工件取出，用限位装置固定在工作台上；通过浮动连接装置保证发生反应后生成的SIO2表层均匀去除；通过机械臂调节工具系统相对于工件的位置及姿势，通过改变进入变刚度气压砂轮的压缩空气的气压调节变刚度气压砂轮的刚度，使变刚度气压砂轮与自由曲面的SIC工件贴合，使用变刚度气压砂轮对自由曲面的SIC工件进行最后的抛光。本发明提出了一种高效、低成本的芬顿辅助变刚度气压砂轮抛光SIC光学自由曲面方法。 | ||
| 搜索关键词： | 气压砂轮 变刚度 抛光 光学自由曲面 自由曲 浮动连接装置 芬顿试剂 隔绝材料 工具系统 气压调节 限位装置 压缩空气 低成本 反应池 机械臂 浸没 等厚 去除 贴合 姿势 取出 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种芬顿辅助变刚度气压砂轮抛光SIC光学自由曲面方法，其特征在于：先将SIC工件不需要加工的表面套上隔绝材料，然后完全浸没在装有芬顿试剂的反应池中，待一段时间反应，在SIC工件的表面生成等厚均匀的SIO2表层后，将SIC工件取出，用限位装置固定在工作台上；通过浮动连接装置保证抛光力是恒力，进而保证发生反应后生成的SIO2表层均匀去除；通过机械臂调节工具系统相对于工件的位置及姿势，通过改变进入变刚度气压砂轮的压缩空气的气压调节变刚度气压砂轮的刚度，使变刚度气压砂轮与自由曲面的SIC工件贴合，使用变刚度气压砂轮对自由曲面的SIC工件进行最后的抛光。
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