[发明专利]超声振动与常压等离子喷射辅助变刚度气压砂轮随形抛光装置及方法有效
| 申请号： | 201810281078.3 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN108555699B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 赵军;何瑛俏;计时鸣 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B1/04;B24B29/02;B24B41/04;B24B41/00;B24B49/12;C04B41/85;B25J11/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种超声振动与常压等离子喷射辅助变刚度气压砂轮随形抛光装置，包括等离子体发生装置、等离子喷射装置、变刚度气压砂轮随形抛光装置、CCD检测装置、多自由度机器人控制装置和超声振动辅助装置，等离子体发生装置与所述等离子喷射装置，等离子喷射装置的等离子喷射头位于工作台的抛光工位的上方；变刚度气压砂轮随形抛光装置安装在多自由度机器人控制装置的动作端，变刚度气压砂轮随形抛光装置的抛光头位于工作台的抛光工位上，超声振动辅助装置安装在所述变刚度气压砂轮随形抛光装置上，CCD检测装置的视角范围覆盖所述工作台的抛光工位。本发明实现大气压条件下脆硬材料表面的超精密抛光加工，并且做到加工效率高，加工效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 振动 常压 等离子 喷射 辅助 刚度 气压 砂轮 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超声振动与常压等离子喷射辅助变刚度气压砂轮随形抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括等离子体发生装置、等离子喷射装置、变刚度气压砂轮随形抛光装置、CCD检测装置、多自由度机器人控制装置和超声振动辅助装置，所述等离子体发生装置与所述等离子喷射装置，所述等离子喷射装置的等离子喷射头位于工作台的抛光工位的上方；所述变刚度气压砂轮随形抛光装置安装在多自由度机器人控制装置的动作端，所述变刚度气压砂轮随形抛光装置的抛光头位于工作台的抛光工位上，所述超声振动辅助装置安装在所述变刚度气压砂轮随形抛光装置上，所述CCD检测装置的视角范围覆盖所述工作台的抛光工位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学，未经浙江工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810281078.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光方法
- 下一篇：一种碳化硅晶片的抛光工艺
