[发明专利]一种界面修饰底接触电极有机薄膜晶体管气体传感器的制备方法在审
| 申请号： | 201810281904.4 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN108508075A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王丽娟;谢强;史超;闫闯;朱阳阳;孙强;王璐;孙丽晶 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;H01L29/786 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明设计了一种界面修饰底接触电极有机薄膜晶体管气体传感器的制备方法，包括衬底层（1）、修饰层（2）、叉指电极（3）、诱导层（4）和气体敏感层（5）。采用回收的废旧液晶屏拆卸处理得到氮化硅衬底作为衬底层（1），聚甲基丙烯酸甲脂旋涂在氮化硅衬底表面作为修饰层（2），为电极和诱导层形成良好的生长界面。蒸镀金材料作为底接触的叉指电极（3），埋藏在诱导层下面，保护叉指金电极，及提高NO2气体（6）与气体敏感层（5）接触面积。在叉指电极（3）上连续真空沉积p‑六联苯作为诱导层（4），酞菁铜为气体敏感层（5），形成高有序的薄膜。该传感器绿色环保，且有序薄膜为敏感层具有高气体灵敏度，快的响应速度和回复时间。 | ||
| 搜索关键词： | 诱导层 气体敏感层 叉指电极 有机薄膜晶体管 气体传感器 接触电极 界面修饰 衬底层 氮化硅 修饰层 制备 薄膜 聚甲基丙烯酸甲脂 连续真空沉积 叉指金电极 气体灵敏度 衬底表面 镀金材料 绿色环保 生长界面 敏感层 酞菁铜 液晶屏 电极 传感器 拆卸 衬底 联苯 旋涂 埋藏 回复 回收 响应 | ||
【主权项】：
1.本发明是一种界面修饰底接触电极有机薄膜晶体管气体传感器的制备方法，其特征在于，包括衬底层（1），修饰层（2），叉指电极（3），诱导层（4），气体敏感层（5），首先在氮化硅材料的衬底层（1）表面旋涂聚甲基丙烯酸甲脂的修饰层（2），衬底层（1）采用的是回收废旧液晶屏拆卸处理后得到的氮化硅衬底，然后蒸镀金属材料金为底接触的叉指电极（3），金材料的叉指电极（3）上面覆盖蒸镀p‑六联苯诱导层（4）和异质诱导生长酞菁铜的气体敏感层（5），底接触的叉指电极（3）被保护的同时，增加了酞菁铜气体敏感层（5）与NO2气体（6）的接触面积。
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