[发明专利]铸造锭的系统和方法

摘要

本发明涉及通过将液体进给到成形的锭上生长成形的硅锭。一种系统包括布置在基座上的硅籽晶，其中硅籽晶是环形的并且被配置为以进料速率接收熔化的硅以形成锭，并且其中基座被配置成以旋转速度旋转。控制器被配置成在硅籽晶接收熔化的硅的同时并且在形成锭的同时：接收关于锭的直径以及关于锭的弯月面的角度的反馈；以及基于所述反馈控制基座的旋转速度和熔化的硅的进料速率，以控制锭的直径和锭的弯月面的角度。

主权项

1.一种系统，其包括：设置在基座上的硅籽晶，其中所述硅籽晶是环形的并且被配置为以进料速率接收熔化的硅以形成锭，并且其中所述基座被配置成以旋转速度旋转；和控制器，所述控制器被配置成在所述硅籽晶接收所述熔化的硅的同时并且在所述锭正在形成的同时：接收关于所述锭的直径和关于所述锭的弯月面的角度的反馈，以及基于所述反馈控制所述基座的所述旋转速度和所述熔化的硅的所述进料速率，以控制所述锭的所述直径和所述锭的所述弯月面的所述角度。