[发明专利]一种带膜组件自有缺陷检测方法及装置有效
申请号: | 201810282997.2 | 申请日: | 2018-04-02 |
公开(公告)号: | CN108507953B | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 崔存星;姚毅 | 申请(专利权)人: | 凌云光技术股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/25 | 分类号: | G01N21/25;G01N21/88 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 100094 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请提供了一种带膜组件自有缺陷检测方法及装置,其中,所述方法包括:获取基准特征光谱,所述基准特征光谱包括:带理想保护膜组件的第一特征光谱和带脏污组件的第二特征光谱;根据所述第一特征光谱,获取待测带膜组件的第一图像;根据所述第二特征光谱,获取待测带膜组件的第二图像;对比所述第一图像与所述第二图像,判断所述待测带膜组件是否存在自有缺陷。本申请提供的检测方法能够有效解决现有表面缺陷检测方法准确率低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 组件 自有 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种带膜组件自有缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括:获取基准特征光谱,所述基准特征光谱包括:带理想保护膜组件的第一特征光谱和带脏污组件的第二特征光谱;根据所述第一特征光谱,获取待测带膜组件的第一图像;根据所述第二特征光谱,获取待测带膜组件的第二图像;对比所述第一图像与所述第二图像,判断所述待测带膜组件是否存在自有缺陷。
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