[发明专利]真空吸附垫和基板保持装置有效
| 申请号： | 201810286499.5 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108705422B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 山本晓;中西正行;小寺健治 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/00 | 分类号： | B24B21/00;B24B41/06;B24B57/02;B24B53/10 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供真空吸附垫和基板保持装置，该真空吸附垫能够在对基板进行真空吸附时使基板难以剥离。真空吸附垫(8)具有：垫主体(37)，该垫主体(37)的下表面粘贴于基板保持装置(2)的工作台(5)；以及多个圆弧状的基板保持凸部(38)，该多个圆弧状的基板保持凸部(38)设置于垫主体(37)的上表面，对真空吸附于垫主体(37)的上表面的基板(W)进行保持。圆弧状的基板保持凸部(38)配置成与圆形的垫主体(37)呈同心圆状，多个圆弧状的基板保持凸部(38)中的配置在径向外侧的基板保持凸部(38)的径向的宽度(W1)比配置在径向内侧的基板保持凸部(38)的径向的宽度(W2)窄。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 保持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空吸附垫，其特征在于，具有：垫主体，该垫主体的下表面粘贴于基板保持装置的工作台；以及多个圆弧状的基板保持凸部，该多个圆弧状的基板保持凸部设置于所述垫主体的上表面，对真空吸附于所述垫主体的上表面的基板进行保持，所述圆弧状的基板保持凸部配置成与圆形的所述垫主体呈同心圆状，所述多个圆弧状的基板保持凸部中的配置在径向外侧的基板保持凸部的径向的宽度比配置在径向内侧的基板保持凸部的径向的宽度窄。
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