[发明专利]一种气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810287298.7 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110320245A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 潘革波;王超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体传感器及其制备方法，通过以具有优良导电性且具有可满足气体传感器工作环境所需的热稳定性和化学稳定性的材料作为基板，使得不仅可在基板上通过喷涂、旋涂、丝网印刷、电化学沉积工艺和光电化学沉积工艺等工艺沉积高结晶度的气敏层，以此提高气敏层的灵敏度，而且使得制得的所述气体传感器可在各种恶劣的环境下进行稳定地工作，有利于所述气体传感器被广泛应用在各种领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 气体传感器 气敏层 基板 沉积 制备 导电性 电化学沉积 化学稳定性 高结晶度 光电化学 热稳定性 丝网印刷 灵敏度 喷涂 旋涂 应用 | ||
【主权项】：
1.一种气体传感器，其特征在于，包括：基板(1)，所述基板(1)的电阻率小于105Ω·cm，所述基板(1)的最高的工作温度为1200℃，所述基板(1)浸泡在王水溶液中时，所述基板(1)的表面至少在48小时以内无新的缺陷产生；气敏层(2)，所述气敏层(2)形成在所述基板(1)上；第一电极(3)，所述第一电极(3)连接在所述气敏层(2)上；第二电极(4)，所述第二电极(4)连接在所述基板(1)或所述气敏层(2)上。
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