[发明专利]一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件在审
| 申请号： | 201810287326.5 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108414104A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘月明;徐程;姜辉 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01K5/62 | 分类号： | G01K5/62;G01K5/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件，属于光纤传感器技术领域。结构包括光纤、光纤端面、法布里‑珀罗腔、固支端、H型微悬桥、镉金属膜、中间反射体。H型微悬桥由H型微悬桥与中间反射体组成，H型微悬桥位于光纤端面，由四个位于光纤端面边缘的固支端连接H型微悬桥与光纤端面，H型微悬桥与光纤端面构成法布里‑珀罗腔，形成光纤一体化结构，H型微悬桥采用聚焦离子束工艺加工，H型微悬桥外表面镀有镉金属膜，镀膜工艺为磁控溅射法。H型微悬桥保证了中间反射体与光纤端面的平行，并且减少了因扭转而破坏法布里‑珀罗腔平行度的可能，中间反射体增加了反射面积，提高了检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤端面 反射体 法布里 珀罗腔 温度检测器件 金属膜 双金属 镀膜 光纤 光纤传感器技术 磁控溅射法 聚焦离子束 一体化结构 镀膜工艺 工艺加工 光纤端 平行度 反射 平行 扭转 检测 保证 | ||
【主权项】：
1.一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件，包括：光纤、光纤端面、法布里—珀罗腔、固支端、H型微悬桥、镉金属膜、中间反射体；所述的H型微悬桥位于光纤端面上，通过四个光纤端面边缘的固支端与光纤端面连接；所述的中间反射体位于H型微悬桥中间，与光纤端面形成法布里—珀罗腔；所述的H型微悬桥采用聚焦离子束工艺加工；所述的H型微悬桥外表面镀有镉金属膜，镀膜工艺为磁控溅射法。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810287326.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：外科用安全温度计
- 下一篇：一种用于干式摩擦副的仿真与试验耦合的动态测温方法
