[发明专利]一种模块化的复合晶体制备系统在审
| 申请号： | 201810288258.4 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN108330533A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 董春明 | 申请（专利权）人： | 济南金曼顿自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/14;C30B15/00 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 250019 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种模块化的复合晶体制备系统，包括炉架、炉腔、晶体生长温场模块、旋转提拉称重单元和升降机构，炉腔设置在炉架上，炉腔前侧设置有前门，炉腔侧面设有通光窗口，晶体生长温场模块设置于炉腔内，旋转提拉称重单元设置在炉腔的上部，旋转提拉称重单元的下部连接提拉杆，晶体生长温场模块为微下拉法模块、提拉法模块和激光基座加热法模块之一。该系统一机多用，主体部分对于不同的晶体生长方法通用，方便地更换晶体生长温场模块，实现不同方法的晶体生长，制备不同种类的功能晶体，能够满足高校科研院所对于多品种晶体的探索研究，也能够满足工业生产的小批量晶体生长需求。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 炉腔 温场 称重单元 提拉 复合晶体 制备系统 模块化 炉架 高校科研 功能晶体 模块设置 升降机构 通光窗口 多品种 加热法 晶体的 提拉法 提拉杆 统一机 下拉法 小批量 制备 前门 激光 侧面 通用 探索 研究 | ||
【主权项】：
1.一种模块化的复合晶体制备系统，其特征是：包括炉架、炉腔、晶体生长温场模块、旋转提拉称重单元和升降机构，炉腔设置在炉架上，炉腔前侧设置有前门，炉腔侧面设有通光窗口，晶体生长温场模块设置于炉腔内，旋转提拉称重单元设置在炉腔的上部，旋转提拉称重单元的下部连接提拉杆，晶体生长温场模块为微下拉法模块、提拉法模块和激光基座加热法模块之一。
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