[发明专利]探针卡装置及探针座有效
申请号: | 201810288294.0 | 申请日: | 2018-04-03 |
公开(公告)号: | CN110346616B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 谢智鹏;苏伟志 | 申请(专利权)人: | 中华精测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;郑特强 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种探针卡装置及探针座,所述探针座包含第一导板、第二导板及穿设于第一导板与第二导板的多个矩形探针。每个矩形探针具有位于第一导板与第二导板之间的形变段及分别自形变段相反两端延伸的第一定位段与第二定位段。多个第一定位段分别位于第一导板的多个第一矩形孔壁内,多个第二定位段分别位于第二导板的多个第二矩形孔壁内。每个第一矩形孔壁与相对应的第二矩形孔壁具有长度偏移及宽度偏移,以压迫于相对应第一定位段与第二定位段,而使形变段受力而呈弯曲且形变状,长度偏移除以宽度偏移的比值介于1~10。 | ||
搜索关键词: | 探针 装置 | ||
【主权项】:
1.一种探针卡装置,其特征在于,所述探针卡装置包括:一探针座,定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向,所述探针座包含有:一第一导板,形成有多个第一矩形孔壁;其中,每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向,并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向;一第二导板,与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置,并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁;其中,多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置;及多个矩形探针,各具有一形变段、分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段、自所述第一定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第一接触段及自所述第二定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第二接触段;其中,每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积,多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间;多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内,多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内,多个所述第一接触段分别位于多个所述第一矩形孔壁的外侧,而多个所述第二接触段分别位于多个所述第二矩形孔壁的外侧;其中,每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移,以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段,而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状;其中,所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1~10;以及一转接板,抵接固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段,而多个所述矩形探针的所述第二接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物。
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